제품소개

작은 일에 精誠을. 모든 일에 最善을. 결과에는 滿足을.

Slurry

Slurry Supply System

시스템 소개

Wafer를 화학적 반응과 기계적 힘을 이용하여 평탄하게 연마하기 위한 연마제를 공급하기 위한 장치

Application

Automation for Slurry filter Change Supply W, Cu, Oxied, Ceria

공급 방식

  • Pumping Supply
  • N2 Pressure Supply